期刊簡介

《IEEE 半導體制造學報》致力于解決制造復雜微電子元件（尤其是超大規模集成電路 (VLSI)）的難題。制造這些產品需要精密微圖案化、精確控制材料特性、超潔凈工作環境以及化學、物理、電氣和機械過程的復雜相互作用。

半導體制造的IEEE交易創刊于1988年，由Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.出版社出版。其研究的主題領域包括但不限于工程技術-工程：電子與電氣，是一本在工程技術領域具有重要影響力的國際期刊。該期刊涵蓋了工程技術的多個子領域，旨在全面理解和解決工程技術問題。

根據最新的數據，半導體制造的IEEE交易的影響因子為2.3，CiteScore為5.2，h-index為59，SJR為0.967，SNIP為1.237，中科院分區為3區，這些指標均顯示了該期刊在工程技術領域的優秀地位。

該刊以English作為出版語言。對于English非母語的作者，期刊建議使用語言編輯服務，以確保文稿的語法和拼寫錯誤得到糾正，并符合科學English的標準。如果想實現快速順利的投稿發表，建議您聯系本站的客服團隊，將為您提供專業的選刊建議，并在整個投稿過程中提供細致的指導。